OMRON傳感器產(chǎn)品示意圖

*的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架
光源(發(fā)光波長) 紅色發(fā)光二極管 (650nm)
負(fù)載電流：50mA以下(殘留電壓1V以下)
按時(shí)間規(guī)格1秒使用時(shí)，為各標(biāo)準(zhǔn)值±10ms。
檢測物體  晶圓片托架(透明物體、不透明物體)
動(dòng)作指示燈  物體檢測時(shí)亮燈(橙色)
殘留電壓：0.8V以下(負(fù)載電流100mA時(shí))
響應(yīng)時(shí)間 zui高速模式：動(dòng)作、復(fù)位各135μs、高
速模式：動(dòng)作、復(fù)位各250μs、
標(biāo)準(zhǔn)模式：動(dòng)作、復(fù)位各1ms
環(huán)境溫度范圍 工作時(shí)：連接1～2臺(tái)時(shí)：-25～+55℃
連接3～10臺(tái)時(shí)：-25～+50℃、
連接11～16臺(tái)時(shí)：-25～+45℃
保存時(shí)：-30～+70℃ (無結(jié)冰、結(jié)露)
環(huán)境度范圍 工作時(shí)、保存時(shí)：各35～85%RH (無結(jié)露)
zui小檢測物體 0.15mm立方體(不透明體)
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置
與晶圓片托架的接觸面使用了
耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂
電源電壓 DC12～24V ± 10% 波紋(p-p) 10%以下
功耗 960mW以下(電源電壓24V時(shí)
消耗電流40mA以下) 控制輸出 集電極開路輸出型

以轉(zhuǎn)速130rpm用不銹鋼刷進(jìn)行耐磨損性測試的結(jié)果，樹脂檢測頭在50分鐘時(shí)發(fā)生絕緣破壞，而金屬檢測頭即使400分鐘后也未發(fā)生絕緣破壞。

E2E NEXT系列憑借長距離穩(wěn)定檢測技術(shù)“熱敏遠(yuǎn)距離控制"和模擬數(shù)字混合IC，解決了增大接近傳感器檢測距離時(shí)的課題——溫度變化產(chǎn)生的影響以及傳感器的個(gè)體差異。

對模擬數(shù)字混合IC“PROX2"執(zhí)行“出廠時(shí)寫入溫度補(bǔ)償值"，將溫度變化對檢測距離的影響控制在較小，這是以往的模擬IC 無法實(shí)現(xiàn)的。

OMRON傳感器產(chǎn)品示意圖